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    YH-QF-K科研氣浮隔振光學平臺

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    YH-QF-K科研氣浮隔振光學平臺

    發布時間:2021-07-02??|?? 發布人:admin ??|??瀏覽次數:


    YH-QF-K科研氣浮隔振光學平臺

     

    應用領域:
    適合于高倍數電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領域應用
    產品特點

    ■中航世紀公司依托于航空工業人員背景研發制造的具有負載能力強、剛性強、穩定性高、隔振效果好的科研級氣浮隔振光學平臺。

    ■優異的隔振性能:內置精密空氣彈簧隔振系統,具備優秀的固有頻率,對多個方向的振動特別是垂直方向有著良好衰減效果,避免外界振動干擾設備儀器精度,提高儀器設備使用精度和使用效率。

    ■自動調節水平功能:放置負載的位置發生變化,平臺迅速通過高精度閥門自動調整空氣彈簧內部的氣壓,自動保持水平。氣動元器件全部執行德國FESTO產品,標配進口無油壓縮機。

    ■臺板采用蜂窩芯夾板結構,具有重量輕、高剛度、高阻尼等優點,上面板為1cr17優質高導磁不銹鋼,經精密研磨處理,平面度高,回旋打磨工藝清除毛邊,達到無反射、亞光效果,面板具有M6螺孔陣列,易于固定光學元件。

    ■隔振支撐為優質鋼管焊接而成,整體堅固穩定。
    ■工作壓力為0.35~0.6Mpa,標準配置調壓過濾閥將保證空氣彈簧的長期有效工作,用戶只需要將氣管連接進氣口,就能使裝置正常發揮隔振功能,氣源可通過小型空氣壓縮機或氮氣瓶供給,便于在安靜場合使用。
    技術指標:

    平面度:< 0.05mm/m2

    表面粗糙度:< 0.8μm
    固有頻率;x方向:1.0Hz~1.5Hz  y方向:1.0Hz~1.5Hz
    ■減振效率:x方向<5Hz時:88%~94%    y方向<5Hz時:86%~92%
     

                  

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

                     x方向<10Hz時:92%~98%  y方向<10Hz時:90%~95%

     

     

     

     

     

     

     

     

    振幅:< 1μm
    荷載能力:800kg/m2

    重復定位精度:±0.05mm

    產品型號:(接受客戶任意規格定制生產)

    臺面細節圖   

    精密研磨處理


    內核采用粘結蜂窩芯及隔離杯結構或焊接鋼制蜂窩結構(用戶可選)



    裝配地點:大連理工大學實驗室



    裝配地點:南方科技大學

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